MEMS関連機器

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MEMS関連機器

SPM用プローブ/カンチレバー

MIKROMASCH社製 SPM用プローブ/カンチレバー

マイクロマッシュ社は幅広いAFMプローブを提供しています。様々なコーティングが施されたレギュラーシリコンカンチレバー、多様な形状及び機械特性のカンチレバーにマウントされた高分解能探針、導電性探針、磁気探針等幅広く取り揃えております。

通常タイプ(HQカンチレバー)に加え、チップがカンチレバー先端についているタイプ (OPUSカンチレバー)がラインナップに追加されました。OPUSカンチレバーを使用するこ とにより走査するサンプル表面の位置が正確に分かります。 OPUSカンチレバーの注文単位は10本、24本、50本、100本です。

HQカンチレバー

一般的なタイプのカンチレバーです。

OPUSカンチレバー

チップがカンチレバー先端に ついているタイプです。

HQカンチレバー

カンチレバータイプ
多目的用途
ピラミッド型にエッチングされたシリコンプローブは鋭いチップ先端と安定した共振周波数を実現し、ダイナミックAFMを主として様々なタイプのAFMに最適です。このタイプのプローブは様々な仕様の共振周波数やばね定数の製品が揃っております。
チップ仕様
チップ半径 ~ 8 nm
チップ材質 シリコン
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC14 125 25 2.1 160 5.0
HQ:NSC15 125 30 4.0 325 40
HQ:NSC16 225 37.5 7.0 190 45
HQ:CSC17 450 50 2.0 13 0.18
HQ:NSC18 225 27.5 3.0 75 2.8
HQ:NSC19 125 22.5 1.0 65 0.5
HQ:NSC35
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:CSC37
lever A 250 35 2.0 40 0.8
lever B 350 35 2.0 20 0.3
lever C 300 35 2.0 30 0.4
HQ:CSC38
lever A 250 32.5 1.0 20 0.09
lever B 350 32.5 1.0 10 0.03
lever C 300 32.5 1.0 14 0.05
HQ:XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42
チップレスカンチレバー
チップレスタイプのプローブは、バネ定数、共振周波数が異なる3種類のカンチレバーがついています。独自の粒子などの修飾が可能です。
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC35/Tipless
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36/Tipless
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:CSC37/Tipless
lever A 250 35 2.0 40 0.8
lever B 350 35 2.0 20 0.3
lever C 300 35 2.0 30 0.4
HQ:CSC38/Tipless
lever A 250 32.5 1.0 20 0.09
lever B 350 32.5 1.0 10 0.03
lever C 300 32.5 1.0 14 0.05
長距離走査用途
HARDタイプのプローブもピラミッド型に鋭くエッチングされています。このプローブはDLCコーティングされておりますので、摩耗が少く、広範囲のスキャンや再現性に優れています。
チップ仕様
チップ半径 < 20 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC14 125 25 2.1 160 5.0
HQ:NSC15 125 30 4.0 325 40
HQ:NSC16 225 37.5 7.0 190 45
HQ:CSC17 450 50 2.0 13 0.18
HQ:CSC18 225 27.5 27.5 75 2.8
HQ:NSC35
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42
電気測定用途(高分解能タイプ)
DPERタイプのプローブはシリコンチップを白金でコーティングしております。コーティングは10nm程度と極薄ですので、チップ先端の鋭さは20nm以下を保持しております。白金コートをしておりますので、導電性が大きく、KFMやEFMなどの電気力顕微鏡に最適です。
チップ仕様
チップ半径 < 20 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:DPER-XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42
電気測定用途(低ノイズタイプ)
DPEプローブはチップにコーティングされた導電性層が特殊な構造をしており、電気的な感度を向上しながらも分解能を低下させることはありません。
チップ仕様
チップ半径 < 40 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:DPE-XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42
電気測定用途(プラチナ・金コーティングタイプ)
白金又は金でコーティングされたプローブは様々な電気力顕微鏡に最適です。
プラチナコーティングチップ仕様
チップ半径< 30 nm
金コーティングチップ仕様
チップ半径< 35 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC14 125 25 2.1 160 5.0
HQ:NSC15 125 30 4.0 325 40
HQ:NSC16 225 37.5 7.0 190 45
HQ:CSC17 450 50 2.0 13 0.18
HQ:NSC18 225 27.5 3.0 75 2.8
HQ:NSC19 125 22.5 1.0 65 0.5
HQ:NSC35
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:CSC37
lever A 250 35 2.0 40 0.8
lever B 350 35 2.0 20 0.3
lever C 300 35 2.0 30 0.4
HQ:CSC38
lever A 250 32.5 1.0 20 0.09
lever B 350 32.5 1.0 10 0.03
lever C 300 32.5 1.0 14 0.05
HQ:XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42
磁性用途
NSCプローブは磁気力測定の為にチップに磁性膜をコーティングしています。コーティングはチップ側と背面の両面に60nmのコバルトと20nmのクロムから形成されています。
チップ仕様
チップ半径 < 60 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC18 225 27.5 3.0 75 2.8
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
高分解能
高分解能プローブはシリコンチップの先端に非常に鋭いスパイク状のダイヤモンドライクカーボンを成長させて作製しています。取り扱いには十分な注意が必要となりますが、高解像度のスキャン像を得ることが出来ます。
スパイク仕様
スパイク半径 < 1 nm
スパイク高さ 100 - 200 nm
スパイク材料 ダイヤモンドライク
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
Hi’Res-C14 125 25 2.1 160 5.0
Hi’Res-C15 125 30 4.0 325 40
Hi’Res-C18 225 27.5 3.0 75 2.8
Hi’Res-C19 125 22.5 1.0 65 0.5

OPUSカンチレバー

カンチレバータイプ
スタンダードタイプ
ノンコンタクトモード、タッピングモードなどに最適です。カイチレバー背面にアルミニウムコーティング有/無のタイプがあります。
チップ仕様
チップ半径 < 7 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
160AC-NN 160 40 4 300 26
160AC-NA 160 40 4 300 26
240AC-NN 240 40 2.6 70 2
240AC-NA 240 40 2.6 70 2
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
4XC-NN
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 240 30 3 75 2.5
Cantilever C 175 40 3 150 9
Cantilever D 65 31 3 1200 100
バイオ及び特殊アプリケーション用
ノンコンタクトモード、タッピングモードなどに最適です。チップに金コーティング有/無のタイプがあります。
チップ仕様
チップ半径 < 7 nm(金コーティング無し)
  < 30 nm(金コーティング有り)
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
160AC-NG 160 40 4 300 26
160AC-GG 160 40 4 300 26
240AC-NG 240 40 2.6 70 2
240AC-GG 240 40 2.6 70 2
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
4XC-GG
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 240 30 3 75 2.5
Cantilever C 175 40 3 150 9
Cantilever D 65 31 3 1200 100
電気計測用
電気測定(EFM、KPFM等)に最適です。カンチレバー全体(チップも含む)がプラチナでコーティングされています。
チップ仕様
チップ半径 < 25 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
240AC-PP 240 40 2.6 70 2
磁性測定用
磁性測定(MFM)に最適です。チップはコバルト合金、カンチレバー背面はアルミでコーティングされています。
チップ仕様
チップ半径 < 60 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
240AC-MA 240 40 2.6 70 2

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

〒270-0021 千葉県松戸市小金原7丁目10番地25
電話番号 047-309-8311
FAX番号 047-309-8310
営業時間 9:00〜17:30(土日祝祭日はお休み)