複合真空計

複合真空計「CC-10(クリスタル/コールドカソード コンビネーションゲージ)」

測定範囲:1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa]

CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲(1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa])の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。 大気圧から1 [Pa]まではクリスタルゲージ、1 [Pa]から10-7 [Pa]まではコールドカソードゲージを使用し測定します。 センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。 また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備し、欧州規格 EN(CE)に対応しております。

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センサーの特徴

大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 一方、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。 センサのボディーはGNDで、陰極として使用しています。 コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。

仕 様

測定範囲1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa]
センサークリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
表示7セグメントLED ・アナログ出力: DC 0〜10[V] log出力または複合出力から選択
セットポイント3点(1点独立、2点はコモン共通)接点容量;DC50V、0.12[A]
デジタルインターフェースRS485
フランジNW25、またはICF70
電源電圧DC22〜26[V]
※ACでご使用の場合は別途ACアダプタ(オプション)が必要となります。
動作周囲温度0〜50[℃]
ベーキング温度MAX 100℃(回路部を取り外すこと)
外形寸法94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm](NW25)
94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm](ICF70)
突起部は除く
重量840[g] (NW25) 1060[g] (ICF70)

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